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《光明日报》（ 2022年11月11日 07版）

访谈｜ASML全球高级副总裁沈波 ：开放合作半导体行业才能发展******

　　(第五届进博会)访谈｜ASML全球高级副总裁沈波 ：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社上海11月6日电 题：访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社记者 李佳佳

　　元宇宙体验、光刻机“开箱”视频和H5虚拟课堂 ，备受外界关注的全球半导体行业供应商ASML在第五届中国国际进口博览会上 ，首次通过“元宇宙”平台，带来沉浸式 的光刻体验，彰显前沿科技。

　　自1988年交付首台步进式光刻机以来 ，ASML进入中国市场已有三十余年 ，见证、亲历和支持了中国半导体产业 的发展。

　　“今年是ASML第四次参展进博会 ，我们希望借助进博会的平台不断地展现开放共赢、合作发展 的理念。”ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波表示：“ASML一直秉持开放与专注，以‘开放式创新’和对光刻技术的专注 ，持续支持半导体行业的发展 。在进博会 ，我们可以与全行业甚至跨行业的企业和合作伙伴加深交流，共商合作前景。”

　　首次在进博会亮相的“ASML元宇宙”之旅给此间观展者带去了身临其境的独特体验 。在ASML元宇宙空间里，观展者可以“亲身”进入无尘室，近距离接触神秘的光刻机，更可以结合影视级效果 的3D裸眼视频 ，了解光刻机 的内部基本原理——光源经过照明模组投向掩模版 ，再穿过掩模版上的电路图案 ，通过投影物镜将影像聚焦到晶圆上 。“元宇宙”中还有生动的全方位光刻解决方案动画和丰富多样 的科普视频 ，令观展者沉浸式了解更多有关ASML的故事 。

　　“每年我们都会思考以什么样的形式参加进博会” ，沈波说 ，去年 ，进博会 的集成电路专区设立，凸显了外界对产业 的关注和重视 。希望未来在设立专区 的基础上 ，能够增加宣传和引导 ，比如举办一些专题或者小论坛，以加深外界对行业的了解。

　　其实，除了光刻机 ，ASML在芯片制造的成像环节也会提供全方位的光刻解决方案，从光刻机设备本身到计算光刻软件，再到芯片生产过程 的量测 、缺陷的检查等，ASML均有涉猎 。“我们更想跟大家讲讲怎么帮助客户在芯片生产的过程中 ，在我们的环节上做出足够大 的工艺窗口，让芯片生产的质量、精度能够控制得更好 ，或者让客户 的技术进步更顺畅地向前 。这是我们今年进博会主要的出发点。”

　　当前，中国已 是全世界最大 的成熟制程市场 ，这俨然成为行业 的共识。“中国在整个半导体产业链中扮演非常重要 的角色 ，这 是所谓‘不确定性中 的确定性’。在这种确定 的情况下，中国该怎么发展成熟制程，怎么把成熟制程做好 ，怎么在全球的半导体产业链里把自己重要的角色扮演好，从这个角度看 ，中国市场的潜力 是很大 的，中国有全世界最大的终端市场，最活跃的应用市场，终端市场、应用市场反过来可以推动上游设计、制造方面 的发展创新 。”

　　说起行业未来的发展 ，沈波坦言，半导体行业自身有一定 的周期 ，有起有伏不是新鲜事。但 是从半导体行业过去多年 的发展和对未来的预期来看，整体向上 的趋势 是在 的，“只要大趋势在，就会要求有更多 的计算 、更多的存储、更多新的应用支持，就会带动半导体行业 的需求量向上”。(完)

　　（文图：赵筱尘 巫邓炎）